Dieses Oberflächenmesssystem ist eine kundenspezifische Lösung, welche maßgeblich zur besseren Quantifizierung der Prozessparameter in der Fertigung von Halbleitermaterialien beiträgt. Dafür werden – mit 30 hochgenauen Messtastern auf der Messeinheit – Höhenmesswerte in Bezug auf ein Messnormal ermittelt und über die anwenderspezifisch entwickelte Software tabellarisch und grafisch dargestellt.

Das gesamte System ist für den mobilen Einsatz auf einem Wagen untergebracht, welcher komplett ESD- und reinraumfähig ist.